現(xiàn)在，很多高科技產(chǎn)品都要依賴半導(dǎo)體芯片，而半導(dǎo)體芯片需要光刻機(jī)來制造。特別是7nm和5nm這種更先進(jìn)的芯片，就需要更高端的光刻機(jī)。但世界各國總共也沒幾家光刻機(jī)廠商，國內(nèi)還只能生產(chǎn)用于制造中低端芯片的DUV光刻機(jī)，無法生產(chǎn)用于制造高端芯片的EUV光刻機(jī)，還得靠進(jìn)口。但美國卻出臺(tái)各種政策，限制國外廠商向中國出口光刻機(jī)，以此來卡中國半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的脖子。
當(dāng)然，我國不可能心甘情愿地受制于人，為了解決卡脖子難題，科研人員也一直在努力。而如今，終于有三項(xiàng)國產(chǎn)技術(shù)取得突破性進(jìn)展，為中國生產(chǎn)自己的EUV光刻機(jī)提供了技術(shù)基礎(chǔ)。接下來，我就給大家分別講講，這三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)都是啥，它們又是如何取得突破性進(jìn)展的。
要生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，首先就要解決光源的問題。而第一項(xiàng)技術(shù)，就是中科院研發(fā)出的高能同步輻射光源。它是目前能量最高的光源之一，而且中科院還研發(fā)出了相應(yīng)的設(shè)備，用來處理這種光源。經(jīng)過處理之后，它就可以成為EUV光刻機(jī)的光源。
除了光源，EUV光刻機(jī)需要的雙工作臺(tái)也有很高的技術(shù)難度。第二項(xiàng)技術(shù)，就是華卓精科制造的雙工作臺(tái)。和國外廠商的雙工作臺(tái)不同，華卓精科的雙工作臺(tái)目前主要被運(yùn)用在ArF干式和浸沒式掃描光刻機(jī)市場，使用效果良好。而想要完全適用于EUV光刻機(jī)，還需要在此基礎(chǔ)上做出進(jìn)一步的改進(jìn)。不過，萬事開頭難，我們現(xiàn)在有了自己的雙工作臺(tái)，開了個(gè)好頭，相信后面的科研進(jìn)度也會(huì)順利的。
而第三項(xiàng)技術(shù)，是對(duì)EUV光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)的研發(fā)成果。清華大學(xué)攻克技術(shù)難點(diǎn)，研發(fā)出了極紫外光粒子加速器。它是一種新型的粒子加速器，結(jié)合第一項(xiàng)技術(shù)的高能同步輻射光源，就有了EUV光刻機(jī)核心零部件的制造基礎(chǔ)。再加上第二項(xiàng)技術(shù)的雙工作臺(tái)，國產(chǎn)EUV光刻機(jī)面世的那一天，指日可待。
與此同時(shí)，好事接二連三。在國內(nèi)研發(fā)EUV光刻機(jī)相關(guān)技術(shù)，并取得突破性進(jìn)展的時(shí)候，全EUV光刻機(jī)領(lǐng)域的行業(yè)巨頭，荷蘭的ASML公司，也向中國拋出了橄欖枝。ASML有多牛呢？本來世界各國就沒幾家光刻機(jī)廠商，而他是全世界唯一一家可以生產(chǎn)最高端的EUV光刻機(jī)的廠商。目前，我國的上海微電子，日本的尼康和佳能，離ASML的技術(shù)水平都還有一段距離。
所以美國也盯著ASML，限制他們把EUV光刻機(jī)出口到中國，就是不想讓中國發(fā)展半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)。之前，ASML也是在看美國的臉色，向我國出口的EUV光刻機(jī)特別少，我國也就這樣被美國卡脖子了。畢竟ASML是荷蘭的公司，荷蘭不是一個(gè)大國，他們也擔(dān)心要是不按美國說的辦，就會(huì)被反過來制裁。
但后來，ASML高層意識(shí)到，中國是一個(gè)非常大的市場。中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在蓬勃發(fā)展，因此需要大量的EUV光刻機(jī)。如果我們可以不受美國限制，把EUV光刻機(jī)出口到中國，就會(huì)創(chuàng)造非常可觀的收益，還能進(jìn)一步鞏固自己全球行業(yè)霸主的地位。
還有，你美國的這種做法根本不合理嘛。我們又不是美國的公司，你憑什么能管我們的產(chǎn)品。而且現(xiàn)在中國也越來越強(qiáng)大了，我們出口EUV光刻機(jī)給中國，肯定能獲得他們的支持。所以，從自身利益角度考慮，ASML也不怕了，開始對(duì)美國放狠話?？偛眉鎴?zhí)行長溫尼克直接警告美國，說壟斷只有死路一條。如果限制EUV光刻機(jī)的出口，相信過不了幾年，中國就會(huì)做出自己的EUV光刻機(jī)。到時(shí)候，整個(gè)歐洲的高科技產(chǎn)業(yè)都會(huì)受到負(fù)面影響。
不得不說，溫尼克不愧是專業(yè)人士，一眼就能看清問題的關(guān)鍵。中國科技發(fā)展的潛力不容忽視。就說空間站吧，上個(gè)世紀(jì)80年代，美國不讓中國參與國際空間站建設(shè)。結(jié)果現(xiàn)在，國際空間站要在2024年退役，而中國空間站建設(shè)得如火如荼，已經(jīng)吸引了歐洲各國來合作。再說回光刻機(jī)，美國限制ASML出口，我們就自己研究，現(xiàn)在也取得了突破性進(jìn)展。我勸美國還是死心吧，就算你想盡辦法搞壟斷，打壓中國科技發(fā)展，我們也仍然越來越強(qiáng)。中國前進(jìn)的腳步是阻止不了的。除了EUV光刻機(jī)，其他被美國卡脖子的技術(shù)，相信在未來，也會(huì)被我們一一攻克。
