集微網(wǎng)消息，近日，中美科技大戰(zhàn)再掀波瀾，而半導(dǎo)體行業(yè)也毫無(wú)意外地再次被推上風(fēng)口浪尖。
美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造商LAM（泛林半導(dǎo)體）和AMAT（應(yīng)用材料）等公司發(fā)出信函，要求中國(guó)國(guó)內(nèi)從事軍民融合或?yàn)檐娖饭?yīng)集成電路的企業(yè)，不得用美國(guó)清單廠商半導(dǎo)體設(shè)備代工生產(chǎn)軍用集成電路。
此次“信函事件”在刺痛國(guó)內(nèi)民眾敏感神經(jīng)的同時(shí)，也直指中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最為薄弱的環(huán)節(jié)——半導(dǎo)體設(shè)備。那么，中國(guó)對(duì)國(guó)外半導(dǎo)體設(shè)備的依賴(lài)性到底有多大？在美國(guó)的重重包圍下，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備替代之路還有多遠(yuǎn)？
美企設(shè)備占了半壁江山
半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)有這樣一個(gè)說(shuō)法，“一代設(shè)備，一代工藝，一代產(chǎn)品”，半導(dǎo)體產(chǎn)品制造要超前電子系統(tǒng)開(kāi)發(fā)新一代工藝，而半導(dǎo)體設(shè)備要超前半導(dǎo)體產(chǎn)品制造開(kāi)發(fā)新一代產(chǎn)品。因此半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)被視作半導(dǎo)體芯片制造的基石，擎起了整個(gè)現(xiàn)代電子信息產(chǎn)業(yè)，是半導(dǎo)體行業(yè)的基礎(chǔ)和核心。
而最新的數(shù)據(jù)顯示，全球半導(dǎo)體設(shè)備TOP15的廠商中，日本企業(yè)占大頭，共有8家日本企業(yè)排在前15之列，美國(guó)企業(yè)有4家，歐洲企業(yè)2家，還有一家在中國(guó)香港上市的新加坡企業(yè)。
2019 年，美國(guó)設(shè)備企業(yè)銷(xiāo)售收入在全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)占49%，排在第一位的應(yīng)用材料，其產(chǎn)品橫跨CVD、 PVD、刻蝕、CMP、RTP等除光刻機(jī)外的幾乎所有半導(dǎo)體設(shè)備。此外，Lam Research、KLA居行業(yè)第四、第五位。
也就是說(shuō)，雖然入圍TOP15的美企數(shù)量比日企少，但是銷(xiāo)售收入?yún)s不低，占了半壁江山。這顯示了整個(gè)世界對(duì)美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的強(qiáng)依賴(lài)性，也成為美國(guó)制裁中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的底氣。
中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備自給率不超過(guò)10%
在美日絕對(duì)壟斷的情況下，中國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在全球范圍內(nèi)幾無(wú)存在感。
中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)曾公布，我國(guó)在光刻機(jī)、離子注入機(jī)、量測(cè)設(shè)備、SoC測(cè)試機(jī)、PECVD等設(shè)備領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化程度低，而離子注入機(jī)、量測(cè)設(shè)備、高深寬比刻蝕設(shè)備、SoC測(cè)試機(jī)等主要從美國(guó)進(jìn)口，進(jìn)口品牌依次是應(yīng)用材料、KLA、Lam Research、Teradyne。
數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)大陸芯片制造目前僅占全球份額的10%左右，而更上游的設(shè)備市場(chǎng)份額則更低，其中半導(dǎo)體設(shè)備的全球市場(chǎng)份額只有2%，設(shè)備自給率不超過(guò)10%，設(shè)備關(guān)鍵零部件的全球市場(chǎng)份額接近于0，這與中國(guó)為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)貢獻(xiàn)半數(shù)市場(chǎng)的現(xiàn)狀可謂天壤之別。
此前，在集微網(wǎng)的龍門(mén)陣直播活動(dòng)中，中芯國(guó)際集成電路制造有限公司聯(lián)合CEO趙海軍也指出，中國(guó)設(shè)備廠商在全球目前屬于第二梯隊(duì)。國(guó)外設(shè)備產(chǎn)業(yè)經(jīng)過(guò)多年的兼并，呈現(xiàn)“強(qiáng)者更強(qiáng)，弱者出局”的市場(chǎng)格局，市場(chǎng)中剩下的競(jìng)爭(zhēng)者都是龍頭企業(yè)，只研發(fā)和生產(chǎn)優(yōu)勢(shì)設(shè)備產(chǎn)品。
一方面是極低的國(guó)產(chǎn)化占有率，另一方面中國(guó)市場(chǎng)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備存在著巨量的需求。據(jù)SEMI（國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）發(fā)布的報(bào)告顯示，2019 年全球半導(dǎo)體設(shè)備制造商收入達(dá)到 598 億美元，較 2018 年 645 億美元的歷史峰值下滑 7%。數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)臺(tái)灣以 171.2 億美元的銷(xiāo)售額成為半導(dǎo)體設(shè)備的最大市場(chǎng)，年增率高達(dá) 68%；中國(guó)大陸則以 134.5 億美元的銷(xiāo)售額繼續(xù)保持著第二大半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的地位。
不過(guò)需要指出的是，據(jù)SEMI于2019年12月的預(yù)測(cè)，2020、2021 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額增速將分別達(dá) 16%、10%，明顯領(lǐng)先全球增速。現(xiàn)在中國(guó)大陸的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)增速之快，已經(jīng)成為了世界半導(dǎo)體設(shè)備廠商關(guān)注的重點(diǎn)市場(chǎng)。
雖然中國(guó)市場(chǎng)備受關(guān)注，但北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司董事長(zhǎng)趙晉榮也指出，與國(guó)外相比，中國(guó)的設(shè)備產(chǎn)業(yè)仍有很長(zhǎng)的路要走。
近年來(lái)，國(guó)家也加大了對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的投入。特別是成立于2019年10月的大基金二期項(xiàng)目，將重點(diǎn)向設(shè)備和材料領(lǐng)域傾斜，大基金管理人特別強(qiáng)調(diào)二期基金將對(duì)在刻蝕機(jī)、薄膜設(shè)備、測(cè)試設(shè)備和清洗設(shè)備等領(lǐng)域已布局的企業(yè)保持高強(qiáng)度的持續(xù)支持，推動(dòng)龍頭企業(yè)做大做強(qiáng)，形成系列化、成套化裝備產(chǎn)品。
另一方面，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商也在奮力尋求突破和成長(zhǎng)。在這過(guò)程中也涌現(xiàn)出了一批有潛力的本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商，包括中微公司、北方華創(chuàng)、北方華創(chuàng)、盛美半導(dǎo)體、上海微電子等，他們也將成為中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率提高的希望。
下面我們看看其中一些公司的情況：
中微公司：公司主營(yíng)業(yè)務(wù)聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領(lǐng)域的等離子體刻蝕設(shè)備、深硅刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。
2018年底，中微公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺(tái)積電驗(yàn)證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5納米制程生產(chǎn)線(xiàn)?？涛g機(jī)是芯片制造的關(guān)鍵裝備之一，中微突破關(guān)鍵核心技術(shù)，讓“上海制造”躋身刻蝕機(jī)國(guó)際第一梯隊(duì)。2019年7月中微公司在科創(chuàng)板上市。
產(chǎn)品方面，公司產(chǎn)品性能突出，刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平甚至是優(yōu)于國(guó)際水平，并且產(chǎn)品覆蓋不同的下游半導(dǎo)體應(yīng)用市場(chǎng)，可以較好的應(yīng)對(duì)下游投資波動(dòng)過(guò)大對(duì)公司業(yè)績(jī)帶來(lái)的影響。
北方華創(chuàng)：成立于2001年，主營(yíng)半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。
目前，北方華創(chuàng)已形成刻蝕機(jī)、PVD、CVD、清洗設(shè)備、立式爐等多種產(chǎn)品布局，已應(yīng)用于數(shù)十種集成電路先進(jìn)工藝制程中，這些產(chǎn)品均在國(guó)內(nèi)主流生產(chǎn)線(xiàn)上獲得批量應(yīng)用。與此同時(shí)，公司在ICP領(lǐng)域深耕多年，布局產(chǎn)品涉及多種關(guān)鍵制程工藝應(yīng)用。
上海微電裝備：成立于2002年，主要致力于半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù)。公司設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路前道、先進(jìn)封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。
華海清科：成立于2013年，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國(guó)家戰(zhàn)略，為推動(dòng)我國(guó)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。
華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與服務(wù)，核心團(tuán)隊(duì)成員來(lái)自清華大學(xué)摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及業(yè)內(nèi)專(zhuān)業(yè)人才，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。
盛美半導(dǎo)體：于1998年在美國(guó)成立，后于2006年設(shè)立盛美上海，主要從事單晶片的濕式清洗設(shè)備的開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，除清洗設(shè)備外，公司還在中國(guó)銷(xiāo)售定制晶圓級(jí)封裝設(shè)備。目前，國(guó)際上共有5家企業(yè)在生產(chǎn)單晶片清洗設(shè)備，盛美是其中之一，另外4家全是海外企業(yè)，分別是Screen Semiconductor Solutions、Tokyo Electron、 Lam Research、SEMES。
2019年12月30日，盛美半導(dǎo)體上海臨港研發(fā)及生產(chǎn)中心項(xiàng)目正式啟動(dòng)。盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司是晶圓濕法清洗設(shè)備供應(yīng)商，盛美半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)及制造中心項(xiàng)目總投資 8.8 億元，預(yù)計(jì)于2020年開(kāi)工，2023年竣工，開(kāi)始試生產(chǎn)。2026年，項(xiàng)目將達(dá)產(chǎn)130臺(tái)，銷(xiāo)售額24億元。
芯源微：于2002年創(chuàng)立，芯源微是國(guó)內(nèi)涂膠顯影設(shè)備龍頭企業(yè)，主要從事半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，主要產(chǎn)品有涂膠顯影設(shè)備和單片濕法設(shè)備。
公司在涂膠顯影設(shè)備方面優(yōu)勢(shì)突出，生產(chǎn)的設(shè)備已經(jīng)打破了國(guó)外廠商壟斷，如LED芯片支撐及集成電路制造封測(cè)等環(huán)節(jié)，率先實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。公司也是國(guó)內(nèi)唯 一一家研發(fā)與制造涂膠顯影設(shè)備的企業(yè)。
長(zhǎng)川科技：成立于2008年4月，于2017年4月17日在深交所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市，是一家專(zhuān)注于集成電路裝備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)。長(zhǎng)川科技生產(chǎn)的集成電路測(cè)試機(jī)和分選機(jī)產(chǎn)品已獲得長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電、士蘭微、華潤(rùn)微電子、日月光等集成電路廠商的使用。
未來(lái)長(zhǎng)川科技將重點(diǎn)開(kāi)拓探針臺(tái)、數(shù)字測(cè)試機(jī)、MEMS、IGBT、SOC、晶圓制造及封裝相關(guān)設(shè)備等產(chǎn)品。
精測(cè)電子：武漢精測(cè)電子技術(shù)股份有限公司創(chuàng)立于 2006 年 4 月，并于 2016 年 11 月在創(chuàng)業(yè)板上市。公司主要從事平板顯示檢測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售，在國(guó)內(nèi)平板顯示測(cè)試領(lǐng)域處于絕對(duì)領(lǐng)先地位， 主營(yíng)產(chǎn)品包括：模組檢測(cè)系統(tǒng)、面板檢測(cè)系統(tǒng)、OLED 檢測(cè)系統(tǒng)、AOI光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和平板顯示自動(dòng)化設(shè)備。近幾年來(lái)，該公司積極對(duì)外投資，設(shè)立多家子公司，業(yè)務(wù)規(guī)模迅速擴(kuò)張，進(jìn)一步完善了產(chǎn)業(yè)布局。
總結(jié)：對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備未來(lái)的發(fā)展，業(yè)內(nèi)人士表示，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的“黃金窗口期”已然打開(kāi)。對(duì)于國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)而言，能否有能力抓住市場(chǎng)機(jī)遇是最重要的。
縱觀全球，日本和韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)都曾迎來(lái)黃金階段，從而帶動(dòng)了一批優(yōu)秀的設(shè)備企業(yè)快速發(fā)展。“未來(lái)，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸向中國(guó)轉(zhuǎn)移，一定會(huì)誕生幾家巨頭企業(yè)，而國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商雖然只是產(chǎn)業(yè)鏈中很小的一個(gè)群體，但是一定是產(chǎn)業(yè)鏈中生命力最旺盛的群體，即小而有力量?！睒I(yè)內(nèi)人士如是期許。（校對(duì)/ Jurnan ）
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